ＳＰＤ

source pattern data

(電子ビーム装置の)線源パターン データ.
ｓｏｕｒｃｅ ｐａｔｔｅｒｎ ｄａｔａ; ｆｏｒ ａｎ ｅ-ｂｅａｍ ｍａｃｈｉｎｅ;
[Ｃ:Ｅ:Ｏｐｔ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11860103