ＢＳＳＳ

back-side scatter sensor

(半導体の急速熱処理での)裏面(光)散乱センサー. 光センサー.
ｂａｃｋ-ｓｉｄｅ ｓｃａｔｔｅｒ ｓｅｎｓｏｒ; ａｎ ｏｐｔｉｃａｌ ｓｅｎｓｏｒ ｉｎ ＲＴＰ(ｒａｐｉｄ ｔｈｅｒｍａｌ ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ)ｏｆ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｓ;
[Ｌ:Ｏｐｔ:Ｐｈｙｓ:Ｉｎｄ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11867981