ＣＡ

chemically amplified (resist)

化学増幅(レジスト). 遠紫外光用のフォトレジスト.
ｃｈｅｍｉｃａｌｌｙ ａｍｐｌｉｆｉｅｄ (ｒｅｓｉｓｔ);
[Ｏｐｔ:Ｃ:Ｉｎｄ:Ｃｈｅｍ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11868230