ＩＴＭ*

implantation through metal

イオン注入で金属とシリコン界面にシリサイドを形成する方法.
ｉｍｐｌａｎｔａｔｉｏｎ ｔｈｒｏｕｇｈ ｍｅｔａｌ;
[Ｅ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11879310