エキシマレーザー

excimer laserから

【解説】アルゴンとフッ素，キセノンと塩素といった2原子からなる分子の励起を利用した紫外線レーザー。高出力のレーザーで，サブミクロン程度の加工に利用される。

あすとろ出版 「カタカナ語の辞典」 JLogosID : 5581273