ＡＲＥ

activated reactive evaporation

活性化反応性蒸着. 薄膜作成法.
ａｃｔｉｖａｔｅｄ ｒｅａｃｔｉｖｅ ｅｖａｐｏｒａｔｉｏｎ; ａ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ ｔｅｃｈｎｉｑｕｅ ｆｏｒ ｔｈｉｎ ｆｉｌｍ ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ; ｒｅｆ. ＥＢ(ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｂｅａｍ) ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ, ＩＡＤ(ｉｏｎ ａｓｓｉｓｔｅｄ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ),ＩＢＳＤ(ｉｏｎ ｂｅａｍ ｓｐｕｔｔｅｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ), ＩＰ(ｉｏｎ ｐｌａｔｉｎｇ), ＲＦＳ(ｒｆ ｄｉｏｄｅ ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ);
[Ｐｈｙｓ:Ｃ

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11866181