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桜川上流右岸の台地に位置する。奈良期の寺院があったことが布目瓦の出土によって知られる。源法寺という地名もその寺院に由来していると思われる。縄文中期の源法寺遺跡がある。【源法寺郷(中世)】 鎌倉期〜戦国期に見える郷名。【源法寺村(近世)】 江戸期〜明治22年の村名。【源法寺(近代)】 明治22年〜現在の大字名。