ＳＸＰＬ

soft-x-ray projection lithography

軟Ｘ線投影リトグラフィ.
ｓｏｆｔ-ｘ-ｒａｙ ｐｒｏｊｅｃｔｉｏｎ ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ; ｕｓｅｓ ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈｓ ａｒｏｕｎｄ 10 ｎｍ;
[Ｐｈｙｓ:Ｏｐｔ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11851063