ＶＣＥ

vacuum chemical epitaxy

真空化学エピタキシー. 化合物半導体薄膜結晶成長法.
ｖａｃｕｕｍ ｃｈｅｍｉｃａｌ ｅｐｉｔａｘｙ; ａ ｍｅｔｈｏｄ ｆｏｒ ｃｏｍｐｏｕｎｄ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ ｃｒｙｓｔａｌ ｇｒｏｗｔｈ; ｒｅｆ. ＭＢＥ(ｍｏｌｅｃｕｌａｒ ｂｅａｍ ｅｐｉｔａｘｙ);
[Ｍａｔ:Ｉｎｄ:Ｐｈｙｓ:Ｃｈｅｍ:Ｃ:Ｅ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11853636