ＰＥＢ

post exposure bake

露光後ベーク. 露光後加熱処理. レーザーリトグラフィの方法.
ｐｏｓｔ ｅｘｐｏｓｕｒｅ ｂａｋｅ; ａ ｐｒｏｃｅｓｓ ｏｆ ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ;
[Ｃ:Ｏｐｔ:Ｌ:Ｉｎｄ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11855415