ＲＦＳ

rf(radio frequency) diode sputtering

高周波ダイオード スパッタリング.
ｒｆ(ｒａｄｉｏ ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ) ｄｉｏｄｅ ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ; ａ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ ｔｅｃｈｎｉｑｕｅ ｆｏｒ ｔｈｉｎ ｆｉｌｍ ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ; ｒｅｆ. ＥＢ(ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｂｅａｍ) ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ, ＩＡＤ(ｉｏｎ ａｓｓｉｓｔｅｄ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ),ＩＢＳＤ(ｉｏｎ ｂｅａｍ ｓｐｕｔｔｅｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ), ＡＲＥ(ａｃｔｉｖａｔｅｄ ｒｅａｃｔｉｖｅ ｅｖａｐｏｒａｔｉｏｎ), ＩＰ(ｉｏｎ ｏｒ

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11857707