ＲＳＰＩ

reflection-supported pyrometric interferometry

反射型熱測定干渉法. 半導体ウェーハー上の膜の厚みと温度を同時に測定する光学装置.
ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ-ｓｕｐｐｏｒｔｅｄ ｐｙｒｏｍｅｔｒｉｃ ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｒｙ; ａｎ ｏｐｔｉｃａｌ ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｔｏｏｌ ｆｏｒ ｔｈｅ ｓｉｍｕｌｔａｎｅｏｕｓ ｄｅｔｅｒｍｉｎａｔｉｏｎ ｏｆ ｆｉｌｍ ｔｈｉｃｋｎｅｓｓ ａｎｄ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ; ｃａｎ ａｃｃｕｒａｔｅｌｙ ｄｅｔｅｒｍｉｎｅ ｔｈｅ ｓｕｒｆａｃｅ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ｏｆ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11858184