ＲＴＰＥＣＶＤ

rapid thermal plasma-enhanced chemical vapor deposition

急熱プラズマ化学蒸着.
ｒａｐｉｄ ｔｈｅｒｍａｌ ｐｌａｓｍａ-ｅｎｈａｎｃｅｄ ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ; ａｎ ＲＴＰ(ｒａｐｉｄ ｔｈｅｒｍａｌ ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ), ａｎ ＲＴＣＶＤ(ｒａｐｉｄ ｔｈｅｒｍａｌ ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ); ｒｅｆ. ＲＴ-ＡＰＣＶＤ(ｒａｐｉｄ ｔｈｅｒｍａｌ ａｔｍｏｓｐｈｅｒｉｃ ｐｒｅｓｓｕｒｅ ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ), ＲＴ-ＬＰＣＶＤ(ｒａｐｉｄ ｔｈｅｒｍａ

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11858278