ＳＥＣＳ

SEMI equipment communications standards

半導体産業装置通信規格. データ通信プロトコル.
ＳＥＭＩ ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎｓ ｓｔａｎｄａｒｄｓ; ａ ｄａｔａ ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ ｐｒｏｔｏｃｏｌ ｉｎ ｔｈｅ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ ｄｅｖｉｃｅ ｉｎｄｕｓｔｒｙ;
[Ｃ:Ｓｔｄ:Ｉｎｄ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11859127