ＣＡＲ

chemically amplified resist

化学増幅レジスト. 光リトグラフィ用のレジストの一つ.
ｃｈｅｍｉｃａｌｌｙ ａｍｐｌｉｆｉｅｄ ｒｅｓｉｓｔ; ｆｏｒ ａ ｄｅｅｐ ＵＶ(ｕｌｔｒａ ｖｉｏｌｅｔ) ｐｈｏｔｏｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ; ｉｎ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ ｄｅｖｉｃｅ ｉｎｄｕｓｔｒｙ;
[Ｃｈｅｍ:Ｏｐｔ:Ｉｎｄ:Ｃ:Ｅ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11868413