ＤＷＢ

direct wafer bonding

直接ウェーハー ボンディング. 絶縁体上にシリコン結晶デバイスを付ける構造の製造方法.
ｄｉｒｅｃｔ ｗａｆｅｒ ｂｏｎｄｉｎｇ; ａ ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ ｆｏｒ ＳＯＩ(ｓｉｌｉｃｏｎ ｏｎ ｉｎｓｕｌａｔｏｒ) ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ; ｒｅｆ. ＺＭＲ(ｚｏｎｅ-ｍｅｌｔｉｎｇ ｒｅｇｒｏｗｔｈ); ｒｅｆ. ＳＩＭＯＸ(ｓｅｐａｒａｔｉｏｎ ｂｙ ｉｍｐｌａｎｔｅｄ ｏｘｙｇｅｎ);
[Ｃ:Ｏｐｔ:Ｉｎｄ:Ｐｈｙｓ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11872717