ＩＢＳＤ

ion beam sputter deposition

イオン ビーム スパッタ蒸着. 薄膜製造技術.
ｉｏｎ ｂｅａｍ ｓｐｕｔｔｅｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ; ａ ｔｈｉｎ ｆｉｌｍ ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ ｔｅｃｈｎｉｑｕｅ; ｒｅｆ. ＥＢ(ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｂｅａｍ), ＩＡＤ(ｉｏｎ ａｓｓｉｓｔｅｄ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ), ＡＲＥ(ａｃｔｉｖａｔｅｄ ｒｅａｃｔｉｖｅ ｅｖａｐｏｒａｔｉｏｎ), ＩＰ(ｉｏｎ ｐｌａｔｉｎｇ), ＲＦＳ(ｒｆ ｄｉｏｄｅ ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ);
[Ｐｈｙｓ:Ｍａｔ:Ｉｎｄ:Ｏｐｔ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11877757