ＬＭＩＳ

liquid metal ion source (gun)

液体金属イオン源. 集束イオンビームプロセス装置のイオン源.
ｌｉｑｕｉｄ ｍｅｔａｌ ｉｏｎ ｓｏｕｒｃｅ (ｇｕｎ); ｆｏｒ ｆｏｃｕｓｅｄ ｉｏｎ ｂｅａｍ ｇｅｎｅｒａｔｉｏｎ; ｅ.ｇ ｕｓｅｄ ｉｎ ＳＩＭＳ(ｓｅｃｏｎｄａｒｙ ｉｏｎ ｍａｓｓ ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ);
[Ｐｈｙｓ:Ｃｈｅｍ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11880843