ＬＯＣＯＳ

local oxidation of silicon; or isoplanar;

選択酸化. シリコンの局所酸化. 窒化シリコンを酸化マスクに用いる選択的酸化方法.
ｌｏｃａｌ ｏｘｉｄａｔｉｏｎ ｏｆ ｓｉｌｉｃｏｎ; ｏｒ ｉｓｏｐｌａｎａｒ; ａ Ｓｉ ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ ｕｓｉｎｇ ａ Ｓｉ3Ｎ4 ｍａｓｋ;
[Ｃ:Ｅ:Ｍａｔ:Ｃｈｅｍ:Ｐｈｙｓ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11880922