ＳＴＩ*

Shallow Tench Isolatioson

素子分離法. Ｓｉ基板に異方性エッチングで溝を掘り, 酸化膜を埋め込む.
Ｓｈａｌｌｏｗ Ｔｅｎｃｈ Ｉｓｏｌａｔｉｏｓｏｎ;
[Ｅ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11850871