ＳＸＲＬ

x-ray reduction stepper

Ｘ線縮小ステッパー. 集積回路マスク作成用の縮小複写機.
ｘ-ｒａｙ ｒｅｄｕｃｔｉｏｎ ｓｔｅｐｐｅｒ; ｆｏｒ ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ ｏｆ ＩＣ(ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ ｃｉｒｃｕｉｔ) ｍａｓｋｓ;
[Ｉｎｄ:Ｏｐｔ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11851065