ＴＣＡ

thermal cycling anneal (technique)

熱周期アニーリング. 結晶中の欠陥を減少させる技術.
ｔｈｅｒｍａｌ ｃｙｃｌｉｎｇ ａｎｎｅａｌ (ｔｅｃｈｎｉｑｕｅ); ｅ.ｇ. ｃａｎ ｇｒｏｗ ｌｏｗ-ｄｅｆｅｃｔ-ｄｅｎｓｉｔｙ ＧａＡｓ ｃｒｙｓｔａｌ ｏｎ ｓｉｌｉｃｏｎ;
[Ｍａｔ:Ｉｎｄ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11851461