ＴＥＩ

triethylindium

トリエチルインジウム. 気相半導体結晶成長でのインジウム元素源として用いる化合物.
ｔｒｉｅｔｈｙｌｉｎｄｉｕｍ; ａ ｓｏｕｒｃｅ ｏｆ Ｉｎ ａｔｏｍｓ ｆｏｒ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ ｃｒｙｓｔａｌ ｇｒｏｗｔｈ; ｅ.ｇ. ｆｏｒ ＩｎＧａＰ ｃｒｙｓｔａｌ ｇｒｏｗｔｈ; ｕｓｅｄ ｉｎ ＯＭＶＰＥ(ｏｒｇａｎｏｍｅｔａｌｌｉｃ ｖａｐｏｒ ｐｈａｓｅ ｅｐｉｔａｘｙ); ｒｅｆ. ＴＢＰ(ｔｅｒｔｉａｒｙｂｕｔｙｌ-ｐｈｏｓｐｈｉｎｅ);
[Ｃｈｅｍ:Ｉｎｄ:Ｏｐｔ:Ｍａｔ:

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11851738