ＴＭＧａ

trimethylgalium

トリメチルガリウム. 金属有機化学蒸着による半導体製造の原料.
ｔｒｉｍｅｔｈｙｌｇａｌｉｕｍ; ａ ｃｈｅｍｉｃａｌ ｓｏｕｒｃｅ ｆｏｒ Ｇａ ｉｎ ＭＯＣＶＤ(ｍｅｔａｌ-ｏｒｇａｎｉｃ ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ); ｅ.ｇ. ｆｏｒ ＧａＡｓ ｃｒｙｓｔａｌ ｇｒｏｗｔｈ, ｔｈｅ ｓａｍｐｌｅ ｉｓ ｒｏｔａｔｅｄ ｂｅｔｗｅｅｎ ＡｓＨ3 ａｎｄ ＴＭＧａ;
[Ｃｈｅｍ:Ｃ:Ｐｈｙｓ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11852200