ＶＬＦ

vertical laminar flow (approach)

垂直層流法. クリーンルーム技術.
ｖｅｒｔｉｃａｌ ｌａｍｉｎａｒ ｆｌｏｗ (ａｐｐｒｏａｃｈ); ａ ｃｏｎｔａｍｉｎａｔｉｏｎ ｃｏｎｔｒｏｌ ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ ｉｎ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ ｉｎｄｕｓｔｒｙ; ｒｅｆ. ＵＬＰＡ(ｕｌｔｒａ ｌｏｗ ｐｅｎｅｔｒａｔｅ ａｉｒ) ｆｉｌｔｅｒ;
[Ｅｎｖ:Ｃ:Ｉｎｄ:Ｃｈｅｍ:Ｐｈｙｓ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11852915