ＶＰＥ

vapor phase epitaxy

気相エピタキシー. 薄膜結晶成長法.
ｖａｐｏｒ ｐｈａｓｅ ｅｐｉｔａｘｙ; ａ ｃｒｙｓｔａｌ ｇｒｏｗｔｈ ｔｅｃｈｎｉｑｕｅ; ｅ.ｇ. ｆｏｒ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ ｄｅｖｉｃｅｓ;
[Ｃ:Ｐｈｙｓ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11854058