ＰＳＭ

(attenuated) phase shift mask

(減衰)位相シフト マスク. 半導体集積回路製造のパターン製造特性を改善する光学装置. 干渉を利用して像をシャープにする効果がある.
(ａｔｔｅｎｕａｔｅｄ) ｐｈａｓｅ ｓｈｉｆｔ ｍａｓｋ; ｕｓｅｓ ａ ｓｌｉｇｈｔｌｙ ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｖｅ ａｂｓｏｒｂｅｒ ｗｉｔｈ ａ ?(180゜) ｐｈａｓｅ ｓｈｉｆｔ; ａｎ ｏｐｔｉｃａｌ ｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ ｄｅｖｉｃｅ ｔｏ ｉｍｐｒｏｖｅ ｔｈｅ ｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎ, ＤＯＦ(ｄｅｐｔｈ ｏｆ ｆｏｃｕｓ), ａｎｄ ｅｘｐｏｓ

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11856700