ＲＥＢ

recirculating etch bath

循環化学腐蝕槽. 半導体酸化膜などをエッチングする反応槽.
ｒｅｃｉｒｃｕｌａｔｉｎｇ ｅｔｃｈ ｂａｔｈ; ａ ｃｈｅｍｉｃａｌ ｅｔｃｈｉｎｇ ｒｅａｃｔｏｒ ｂａｔｈ;
[Ｍａｔ:Ｃ:Ｅ:Ｉｎｄ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11857603