ＲＩＥ

reactive ion etching

反応性イオン エッチング. 半導体デバイスの製造技術. 半導体微細加工技術.
ｒｅａｃｔｉｖｅ ｉｏｎ ｅｔｃｈｉｎｇ; ａ ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ ｐｒｏｃｅｓｓ ｏｆ ａ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ ｄｅｖｉｃｅ;
[Ｃｈｅｍ:Ｐｈｙｓ:Ｃ:Ｍａｔ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11857797