ＲＳＥ*

reactive sputter etching

反応性スパッタエッチング.
ｒｅａｃｔｉｖｅ ｓｐｕｔｔｅｒ ｅｔｃｈｉｎｇ;
[Ｅ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11858165