ＲＴＰ

rapid thermal processing(or processor)

急速熱処理. 窒化処理.
ｒａｐｉｄ ｔｈｅｒｍａｌ ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ(ｏｒ ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ); ｏｆ ａ ｍａｔｅｒｉａｌ ｏｒ ｄｅｖｉｃｅ; ｅ.ｇ. ｕｓｅｓ ＩＲ(ｉｎｆｒａ-ｒｅｄ) ｈｅａｔ ｆｒｏｍ ｔｕｎｇｓｔｅｎ ｈａｌｏｇｅｎ ｌａｍｐｓ ｆｏｒ ＲＴＰ ｏｆ Ｓｉ ｗａｆｅｒｓ; ａｎ ＡＶＰ(ａｄｖａｎｃｅｄ ｖａｃｕｕｍ ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ); ｅ.ｇ. ＲＴＡ(ｒａｐｉｄ ｔｈｅｒｍａｌ ａｎｎｅａｌｉｎｇ), ＲＴＯ(ｒａｐｉｄ ｔｈｅｒｍａｌ ｏｘｉｄａｔｉ

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11858270