ＳＡＣＶＤ

sub-atmospheric CVD(chemical vapor

減圧化学蒸着.
ｓｕｂ-ａｔｍｏｓｐｈｅｒｉｃ ＣＶＤ(ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ); ａ ｐｒｏｃｅｓｓ ｆｏｒ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ ｄｅｖｉｃｅ ｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ;
[Ｃ:Ｉｎｄ:Ｍａｔ:Ｃｈｅｍ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11858487