ＳＩＭＳ

secondary-ion mass spectrometry(or spectroscopy)

シムス. 二次イオン質量分析法. 試料にイオンを照射して, 発生する二次イオンを分光する方法.
ｓｅｃｏｎｄａｒｙ-ｉｏｎ ｍａｓｓ ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ(ｏｒ ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ); ａ ｃｈｅｍｉｃａｌ ａｎａｌｙｓｉｓ; ａ ｔｅｃｈｎｉｑｕｅ ｆｏｒ ｄｅｐｔｈ ｐｒｏｆｉｌｉｎｇ ｏｆ ｄｏｐａｎｔｓ ｉｎ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｓ; ｅ.ｇ. ｕｓｅｄ ｔｏ ｍｅａｓｕｒｅ ｈｙｄｒｏｇｅｎ ｐｒｏｆｉｌｅｓ ｉｎ ｐｒｏｔｏｎ-ｅｘｃｈａｎｇｅｄ ｗａｖｅｇｕｉｄｅｓ

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11859589