ＳＯＧ

spin-on-glass

塗布ガラス. スピンオンガラス(法). 絶縁薄膜材料を展開する方法. 多層配線で層間絶縁膜を平坦化する方法.
ｓｐｉｎ-ｏｎ-ｇｌａｓｓ; ａ ｔｅｃｈｎｉｑｕｅ ｉｎ ｔｈｅ ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ ｉｎｄｕｓｔｒｙ ｔｏ ｐｌａｎａｒｉｚｅ ｍａｔｅｒｉａｌ ｏｒ ａｎ ｉｎｓｕｌａｔｉｎｇ ｆｉｌｍ ｂｅｔｗｅｅｎ ｔｗｏ ｍｅｔａｌｌｉｃ ｌａｙｅｒｓ ｏｒ ＩＭＤ(ｉｎｔｅｒｍｅｔａｌ ｄｉｅｌｅｃｔｒｉｃ) ｆｉｌｍ ｍａｋｉｎｇ; ｅ.ｇ. ｃｏｍｍｅｒｃｉａｌ ｓｉｌｏｘａ

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11859989