ＭＥＭＳ

micro electro mechanical systems

メムス. 微小電子機械システム. シリコン技術を用いたマイクロマシン.
ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ; ａ ｔｅｃｈｎｉｃａｌ ｆｉｅｌｄ ｆｏｒ ｓｅｎｓｏｒ, ａｃｔｕａｔｏｒ, ｒｏｂｏｔｂｙ ｕｓｉｎｇ ｓｉｌｉｃｏｎ; ｃａｎ ｓｅｎｓｅ ｅｘｔｅｒｎａｌ ｅｖｅｎｔｓ, ａｎａｌｙｚｅ ｔｈｅｍ ｉｎ ａ ｈｉｇｈ-ｓｐｅｅｄ ｃｅｎｔｒａｌ ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ ｕｎｉｔ, ａｎｄ ｔｈｅｎ ｒｅｓｐｏｎｄ ａｐｐｒｏｐｒｉａｔｅｌｙ ｗｉｔｈ ｍｉ

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11860742