ＭＥＳＣ

modular equipment standard committee

モジュール装置標準化委員会. 半導体製造装置の規格.
ｍｏｄｕｌａｒ ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ｓｔａｎｄａｒｄ ｃｏｍｍｉｔｔｅｅ; ａ ｓｔａｎｄａｒｄ ｆｏｒ ｍａｎｕａｌ ｌｏａｄｌｏｃｋｓ ｔｈａｔ ｃａｎ ｐｅｒｆｏｒｍ ｔｈｅ ｓａｍｅ ｍｏｔｉｏｎｓ ａｓ ａ ｃｌｕｓｔｅｒ ｔｏｏｌ ｒｏｂｏｔ ｉｎ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ ｉｎｄｕｓｔｒｙ; ｒｅｆ. ＭＡＳＣＯＴ(ＭＥＳＣ ｓａｍｐｌｅ ｃｌｕｓｔｅｒ ｏｐｅｒａｔｉｎｇ ｔｏｏｌ); (ＵＳ);
[Ｉｎｄ:Ｃ:Ｅ:Ｍａ

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11860776