ＭＰＣＶＤ

microwave plasma chemical vapor deposition

マイクロ波プラズマ化学蒸着法.
ｍｉｃｒｏｗａｖｅ ｐｌａｓｍａ ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ; ａ ＣＶＤ ｕｓｉｎｇ ｍｉｃｒｏｗａｖｅ-ｇｅｎｅｒａｔｅｄ ｐｌａｓｍａｓ; ｒｅｆ. ＭＰＩＳ(ｍｉｃｒｏｗａｖｅ-ｐｌａｓｍａ ｉｎｄｕｃｅｄ ｓｉｎｔｅｒｉｎｇ);
[Ｃ:Ｅ:Ｐｈｙｓ:Ｃｈｅｍ:Ｉｎｄ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11861585