略語大辞典 [Ind] 28 AOI automatic optical inspection 自動光学検査. コンピュータによる画像処理技術を応用した集積回路などの製品検査.automatic optical inspection; uses image processing methods to find defects in various patterned layers; an inspection technique; [Ind:Opt]. 丸善「略語大辞典」JLogosID : 11865851