ＢＰＲ

beam-profile reflectometry

ビーム分布反射計測. 薄膜の厚みや光学的特性を入射角を変えた反射率測定から求める計測方法. 集光したビームを使い異なる入射角の反射率分布を同時に測定する方法.
ｂｅａｍ-ｐｒｏｆｉｌｅ ｒｅｆｌｅｃｔｏｍｅｔｒｙ; ａｎ ｏｐｔｉｃａｌ ｍｅｔｈｏｄ ｆｏｒ ｔｈｉｎ-ｆｉｌｍ ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ ｂｙ ｕｓｉｎｇ ａ ｈｉｇｈｌｙ ｆｏｃｕｓｅｄ ｌｉｇｈｔ ｂｅａｍ; ｆｉｌｍ ｔｈｉｃｋｎｅｓｓ ａｎｄ ｏｐｔｉｃａｌ ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ａｒｅ ｄｅｔｅｒｍｉｎｅｄ ｂｙ ｍｅａｓｕｒ

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11867812