略語大辞典 [E] 35 CD critical dimension 走査型電子顕微鏡で観測する程度の寸法. critical dimension; = kλ/NA ; e.g. a CDof 0.8 ?m is common for high-performance microelectronic devices; a fabrication accuracy; e.g. CD SEM(scanning electron microscope), a submicron metrology tool; [E:Ind:Opt].クリティカル ディメンション. 丸善「略語大辞典」JLogosID : 11868784