ＥＦＧ

edge-defined film-fed (crystal) growth

融液面に孔のある型を置いて, その孔を通して単結晶を引き上げる結晶成長法. リボン状結晶, 棒状結晶, 管状結晶などの成長法. デンドライト成長. シリコンウェーハー, サファイアウェーハーなどの製造に利用する.
ｅｄｇｅ-ｄｅｆｉｎｅｄ ｆｉｌｍ-ｆｅｄ (ｃｒｙｓｔａｌ) ｇｒｏｗｔｈ; ａ ｃｒｙｓｔａｌ ｇｒｏｗｔｈ ｔｅｃｈｎｉｑｕｅ;
[Ｍａｔ:Ｉｎｄ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11873359