ＩＰＳ

integrated photolithography system

統合光印刷システム. 半導体集積回路のパターンをレジストに焼き付ける装置.
ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ ｐｈｏｔｏｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ ｓｙｓｔｅｍ; ｆｏｒ ｒｅｓｉｓｔ ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ;
[Ｏｐｔ:Ｉｎｄ:Ｃｈｅｍ:Ｃ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11878916