ＩＳＳ*

impact sound stressing

シリコンウエハーに加工歪場を形成する方法. ゲッタリング効果が期待される.
ｉｍｐａｃｔ ｓｏｕｎｄ ｓｔｒｅｓｓｉｎｇ;
[Ｅ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11879216