ＭＡＳＣＯＴ

MESC(modular equipment standard

モジュラー装置標準委員会(ＭＥＳＣ)試料群操作工具. 半導体製造装置で半導体ウェハーを操作するための標準化された工具.
ＭＥＳＣ(ｍｏｄｕｌａｒ ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ｓｔａｎｄａｒｄｃｏｍｍｉｔｔｅｅ) ｓａｍｐｌｅ ｃｌｕｓｔｅｒ ｏｐｅｒａｔｉｎｇ ｔｏｏｌ; ａ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ-ｄｅｖｉｃｅ ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ ｔｏｏｌ ｔｈａｔ ｍａｎｕａｌｌｙ ｌｏａｄｓｗａｆｅｒｓ ｉｎｔｏ ａ ＭＥＳＣ-ｓｔａｎｄａｒｄ ｐｒｏｃｅｓｓ ｍｏｄｕｌｅ ｕｓｉｎｇ ａ ｄｙｎａｍｉｃ

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11881568