ＴＥＯＳ

tetraethylorthosilicate

テトラエチルオルソシリケート. 化学蒸着法(ＣＶＤ)でＳｉＯ2を製造する場合の原料化合物. 半導体電子回路の層間絶縁膜として使用するガラスの原料. 低損失光ファイバーの原料.
ｔｅｔｒａｅｔｈｙｌｏｒｔｈｏｓｉｌｉｃａｔｅ; ａ ｓｉｌｉｃａ ｐｒｅｃｕｒｓｏｒ ｃｈｅｍｉｃａｌ; ａ ｃｈｅｍｉｃａｌ ｒａｗ ｍａｔｅｒｉａｌ ｆｏｒ ｔｈｅ ＣＶＤ(ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ) ｏｆ ＳｉＯ2; ｒｅａｃｔｓ ｗｉｔｈ Ｏ3 ａｔ ａｔｍｏｓｐｈｅｒｉｃ ｐｒｅｓｓｕｒｅ

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11851771