ＶＳＣ

vacuum system controller

真空システム制御装置.
ｖａｃｕｕｍ ｓｙｓｔｅｍ ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ; ｏｆ ａ ｐｒｏｃｅｓｓ ｃｈａｍｂｅｒ ａｎｄ ｆｏｒｅｌｉｎｅ ｏｆ ｔｈｅ ＱＭＡ(ｑｕａｄｒｕｐｏｌｅ ｍａｓｓ ａｎａｌｙｚｅｒ) ｖａｃｕｕｍ ｓｙｓｔｅｍ; ｒｅｆ. ＯＳＶＳＣ(ｏｐｅｎ-ｓｏｕｒｃｅ ｖａｃｕｕｍ ｓｙｓｔｅｍ ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ);
[Ｃ:Ｅ:Ｐｈｙｓ:Ｃｈｅｍ:Ｉｎｄ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11852453