Ｖ-ＡＴＥ

vertical anisotropic etching

(半導体結晶の)垂直異方性エッチング.
ｖｅｒｔｉｃａｌ ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ ｅｔｃｈｉｎｇ;
[Ｃｈｅｍ:Ｍａｔ:Ｃ:Ｅ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11853579