ＴＳＩ

top surface imaging (system)

最上表面結像方式. 半導体集積回路パターンの露光方式.
ｔｏｐ ｓｕｒｆａｃｅ ｉｍａｇｉｎｇ (ｓｙｓｔｅｍ); ａｎ ｅｘｐｏｓｕｒｅ ｓｙｓｔｅｍ ｆｏｒ ＩＣ(ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ ｃｉｒｃｕｉｔ) ｐａｔｔｅｒｎｓ ｔｏ ｔｈｅ ｔｏｐ ｓｕｒｆａｃｅ ｏｆ ａ ｐｈｏｔｏ ｒｅｓｉｓｔ;
[Ｃ:Ｉｎｄ:Ｏｐｔ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11854422