ＰＧＭＡ*

polyglycidyl methacrylate

ネガ形のエポキシ系電子ビーム描画用レジスト.
ｐｏｌｙｇｌｙｃｉｄｙｌ ｍｅｔｈａｃｒｙｌａｔｅ;
[Ｅ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11855308