略語大辞典 [Chem] 38 PGMEA propylene glycol methyl ether acetate; 酢酸プロピレングリコールメチルエーテル. 溶媒. 光酸発生用の化合物. フォトレジストの成分として用いる.propylene glycol methyl ether acetate;a chemical solvent; a chemical used for photoacid generator; a component of photoresist; a casting solvent of photoresist; [Chem:Ind:Opt]. 丸善「略語大辞典」JLogosID : 11855309